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本文建立了一个极紫外（Extreme-Ultraviolet EUV）与液态水相互作用径迹结构的Monte Carlo模拟方法。该方法考虑了光子与水分子的相互作用光电效应，并采用了美国Lawrence Livermore国家实验室的光子截面数据库提供的H原子和O原子的光电离散射截面数据。对于低能电子与水分子的相互作用模拟，应用了Emfietzoglou最新发展的基于介电响应理论的液态水截面来完成低能电子与水的非弹性相互作用计算，将平均散射截面概念与Mott截面结合来计算低能电子在水中的弹性散射。使用本文方法，模拟给出了极紫外及其诱导的低能电子在水中的径迹结构。