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低温泵是利用封闭循环制冷机制造低温，并利用低温表面冷凝、吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。由于低温泵极限真空度高、抽速大、清洁、能耗低等一些优点,目前已广泛在各工业领域中.本文简要介绍了低温泵的极限压力、对各种气体的抽气速率、热负荷、最大抽气流量、抽气容量主要性能参数及结构尺寸的理论设计,并根据现有经验对低温泵进行了抽速测试，最大抽气流量测试，抽气容量测试的试验验证.低温泵包括低温和真空两大部分，应综合考虑极限压力、抽速、抽气流量、抽气容量、再生时间、降温时间、材料性能、制冷机功率等方面的要求。