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可用于车间现场精密元件表面缺陷自动化检测的装置
【机 构】
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浙江大学光电系,现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州浙大路38号,310013
【出 处】
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第十五届全国光学测试学术交流会
【发表日期】
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2014年期
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