ZrN薄膜的制备及其结构与力学性能的研究

• 作 者: 王明霞 李德军
• 机 构: 天津师范大学物理与电子信息学院,天津300387
• 出 处: 中国工程院化工、冶金与材料工学部第七届学术会议
• 发表日期: 2009年期
• 关键词: ZrN薄膜 制备 薄膜结构 工作气压 流量比对 射频磁控溅射系统 机械性能 气体

本研究选择锆作为溅射靶材,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN薄膜.通过X射线衍射仪、表面轮廓仪和纳米力学测试系统分析了该体系合成中工作气压和Ar/N2气体流量比对薄膜结构与机械性能的影响.研究结果表明:当Ar/N2气体流量比为5∶1时,工作气压为0.6Pa条件下,ZrN薄膜的硬度和弹性模量达到最大值27.1GPa和313.2GPa,薄膜的性能达到最佳.表明工作气压和Ar/N2气体流量比对薄膜体系的机械性能具有直接的影响.