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用ANSYS软件建立了压电薄膜悬臂梁结构的有限元模型,对悬臂梁进行了结构静力分析、模态分析,计算出了悬臂梁的谐振频率和振型.对基于压电薄膜悬臂梁结构的微麦克风和扬声器进行了灵敏度计算和谐波响应分析.
压电薄膜悬臂梁结构的建模和性OO能模拟
【摘 要】
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用ANSYS软件建立了压电薄膜悬臂梁结构的有限元模型,对悬臂梁进行了结构静力分析、模态分析,计算出了悬臂梁的谐振频率和振型.对基于压电薄膜悬臂梁结构的微麦克风和扬声器进
【机 构】
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微电子所,清华大学(中国北京)
【出 处】
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第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2003年期
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