【摘 要】
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我们研究了使用准分子激光在不同气氛条件下(空气，氧气，氮气)辐照氧化锌薄膜后薄膜的荧光、电学性质的变化.无论在哪种气氛环境下进行辐照，与原始生长的薄膜比较，辐照后的薄
【机 构】
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北京工业大学激光工程研究院,北京100124
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我们研究了使用准分子激光在不同气氛条件下(空气，氧气，氮气)辐照氧化锌薄膜后薄膜的荧光、电学性质的变化.无论在哪种气氛环境下进行辐照，与原始生长的薄膜比较，辐照后的薄膜都表现出一系列显著的变化：载流子浓度上升了两个数量级，载流子迁移率上升了两个数量级，电阻率下降了三个数量级，紫外发光峰强度明显下降并伴有轻微红移.为了更进一步研究准分子激光与氧化锌相互作用的机制，我们研究了薄膜变温荧光光谱的变化.从变温荧光光谱中我们发现，与原始生长的薄膜相比，辐照后的薄膜缺失了位于3.274 eV 的D0X-1LO 和3.203eV 的D0X-2LO 发射峰，而且这两个峰合并成了一个峰.通过退火处理，霍尔效应测试和荧光光谱分析，我们讨论了准分子激光与氧化锌薄膜相互作用的机制.
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