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Study of Frequency Dependent Lateral Leakage in RF BAW Device by Laser Probe System
【机 构】
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ChibaUniversity,GraduateSchoolofEngineering,Chiba,Chiba,Japan
【出 处】
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2008 IEEE International Ultrasonics Symposium(IUS)(2008 IEEE
【发表日期】
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2008年11期
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