【摘 要】
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金属粒子镶嵌陶瓷介质复合薄膜具有独特的光学、电学以及太阳能采集与转换等功能特性.本文选用高纯金属Nb靶,以Ar为溅射气体,N2为反应气体,利用直流反应磁控溅射技术,通过控制反应气体的流量,同时实现金属和陶瓷成分的共沉积,制备了不同金属填充因子的Nb-NbN金属陶瓷复合膜.利用XRD和EDX对不同N2分压下薄膜的成分与相结构进行了分析,随着N2分压提高,N:Nb原子比增大,当Ar与N2流量比在150
【机 构】
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北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理中心,北京,100083 中国空间技术研究院,北京,10
【出 处】
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2006北京国际材料周暨中国材料研讨会
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金属粒子镶嵌陶瓷介质复合薄膜具有独特的光学、电学以及太阳能采集与转换等功能特性.本文选用高纯金属Nb靶,以Ar为溅射气体,N2为反应气体,利用直流反应磁控溅射技术,通过控制反应气体的流量,同时实现金属和陶瓷成分的共沉积,制备了不同金属填充因子的Nb-NbN金属陶瓷复合膜.利用XRD和EDX对不同N2分压下薄膜的成分与相结构进行了分析,随着N2分压提高,N:Nb原子比增大,当Ar与N2流量比在150:2到150:5之间时,可以获得Nb-NbN混合相.利用SEM对薄膜表面形貌进行了观测;采用椭圆偏振仪和分光光度计对不同成分、不同厚度金属陶瓷薄膜的紫外-可见光谱折射率、消光系数和紫外-可见光谱透射率等进行了测量和表征,为Nb-NbN金属陶瓷薄膜的应用研究奠定了实验基础.
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在30kW级DC Arc Plasma Jet CVD(直流电弧等离子体喷射化学气相沉积)设备上,采用Ar-H2-CH4混合气体,在Mo的衬底上沉积出纳米金刚石自支撑膜.实验表明,随着甲烷浓度的增加,金刚石膜表面的晶粒大小是逐渐减小的,当甲烷浓度达到12％时,已经有明显的二次形核;当甲烷浓度达到13％时,形核面积进一步增大;当甲烷浓度达到15％以上时,金刚石膜生长面晶粒全部变为纳米级尺寸.通过SE
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