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随着集成度不断提高,集成电路的内绝缘层愈来愈薄,其互连线与间距愈来愈小,相互击穿电压愈来愈低静电防护的重要性更加突出.本文简述了电子产品集成过程中静电防护的实践,在工程中解决了静电接地、静电防护等技术问题.
静电防护技术的实践
【摘 要】
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随着集成度不断提高,集成电路的内绝缘层愈来愈薄,其互连线与间距愈来愈小,相互击穿电压愈来愈低静电防护的重要性更加突出.本文简述了电子产品集成过程中静电防护的实践,在工程中解决了静电接地、静电防护等技术问题.
【机 构】
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华东电子工程研究所(安徽合肥)
【出 处】
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第四届电子产品防护技术研讨会
【发表日期】
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2004年9期
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