非致冷型红外焦平面陈列技术的进展

来源 :中国航空学会光电技术研讨及学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:emailtoli2
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目前使用的单元红外探测器或者阵列红外探测器均要求低温工作,必须致冷到不同程度(VK 77K或更低些)的温度下工作方可获得较为实用的红外图像。迄今发展较好,使用广泛的该征窄带半导体材料红外探测器阵列,如InSb、HgCdTe,PtSi肖特基势垒红外阵列,非该征硅阵列,如Si:Ga,Si:In等和新型量子阱、异质结构红外阵列GeSi、InGaAs、AlGaAs等,均必须苛刻的冷却环境(77K 或甚至远低于77K)下工作,这使系统结构更加复杂,不便于实现小体积,长期稳定的低成本工作,从而限制了红外阵列的应用范围,实现红外阵列的非致冷室温工作是使该技术进一步向前发展的关键。最近几年来,国外在这方面取得了相当大的进展。该文评述近二、三年间非致冷红外焦平面阵列技术的发展概况,包括理论、材料、器件结构、制作工艺、目前取得的主要进展和应用范围,未来的趋势和前景。文章的第一部分为前言,第2部分是基本的工作原理与结构,第三部分是主要的性能参数与制作工艺,第四部分是国外取得的进展,第五部分是发展趋势与前景(包括应用)。
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