密封器件氦质谱细检漏的等效标准漏率上限

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  密封器件氦质谱细检漏技术所对应的气流状态为分子流.目前好的粗检法可以检出100Pa·cm3/s或更小的漏率.为了与粗检方法相衔接,我们取密封器件氦质谱细检漏的等效标准漏率上限为1.4Pa·cm3/s.本文分析了这一上限的合理性.本文将漏孔简化为长径比相当大的圆管,按照Dushman的近似理论,将漏孔看作是由一个孔眼与一根长管串联组成,利用传统的分子流、黏滞流流导公式,对21世纪多篇文献报导的微型管道流导~进气口压力关系曲线进行了分析,证明:(1)在出气口压力远低于进气口压力的前提下,当进气口压力低到一定程度表现为分子流时,若用粘滞流流导公式计算,得到的流导值就会低于实际值;而当进气口压力高到一定程度表现为黏滞流时,若用分子流流导公式计算,得到的流导值也会低于实际值;(2)随着进气口压力不断增高,一旦流导开始增加,就认为气流状态已偏离分子流,即从流导角度判断偏离分子流是非常敏感的;而从流量角度,仅当流量的增加明显偏离线性时,才认为气流状态已偏离分子流,即从流量角度判断偏离分子流是非常不敏感的.考虑到密封器件氦质谱细检漏的漏率测量并不精密,情况更是这样.因此可以认为等效标准漏率不超过1.4Pa·cm3/s的漏孔在进气口压力不超过1×105Pa时基本处于分子流状态;(3)对于任务允许的最大标准漏率远低于1.4Pa·cm3/s的密封器件(例如空气严酷等级要求高的军品密封器件),即使在压氦法的压氦过程中,漏率合格的产品从流量角度也不会处于黏滞流状态,而漏率不合格的产品只要保证候检时间不超过最长候检时间,就可以通过测量漏率报警或粗检剔除.
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