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采用ＰＣＶＤ工艺在高速钢和硬质合金基体上制备Ｔｉ（Ｃ．Ｎ）多层梯度复合膜，测试膜的显微硬度，结合强度及断口形貌，进行Ｘ射线衍射分析及Ｘ光电子谱分析。试验表明，采用多层梯度复合膜能减小涂层残余应力，提高膜基结合强度，使晶体组织得到细化改善，且复合层间无明显界面，整个膜层结合成一个内部成分和结构缓慢变化的整体，在梯度复合层中各元素的分布和浓度变化趋势与涂层工艺相符。通过生产使用，证明ＰＣＶＤ多层梯度复合膜具有很好的工业实用性。