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基于含多羟基结构分子玻璃的底部抗反射涂料组合物及其在紫外光刻中的应用
基于含多羟基结构分子玻璃的底部抗反射涂料组合物及其在紫外光刻中的应用
来源 :中国化学会第30届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pt315311
【摘 要】
:
本研究工作主要研制了一系列以新型含多羟基型分子玻璃化合物和两端及多端乙烯基醚类化合物为主要原料制备而成的底部抗反射涂层组合物。将该底部抗反射涂层涂于基底上,可
【作 者】
:
彭晓曼
王双青
杨国强
【机 构】
:
中国科学院化学研究所,北京,100190
【出 处】
:
中国化学会第30届学术年会
【发表日期】
:
2016年期
【关键词】
:
基结构
分子
玻璃
反射涂料
组合物
紫外光刻
底部抗反射涂层
乙烯基醚类化合物
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本研究工作主要研制了一系列以新型含多羟基型分子玻璃化合物和两端及多端乙烯基醚类化合物为主要原料制备而成的底部抗反射涂层组合物。将该底部抗反射涂层涂于基底上,可有效降低光反射,减少反射光的散射造成的圆形缺口,从而在更小线宽下得到较好光刻图形。
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