论文部分内容阅读
MEMS湿度传感器以其体积小、响应快、线性好、精度高等优点受到越来越多的重视。本论文设计的MEMS压阻式湿度传感器的工作原理是当环境湿度变化时，利用感湿聚合物(聚酰亚胺)吸收水分后体积膨胀产生张力，使得压阻附近的应力增大，其阻值产生相应的变化，利用惠斯通电桥产生了变化的电压信号。文中通过使用ANSYS软件对不同尺寸的MEMS湿度传感器进行仿真，通过比较应力集中区最大应力的大小，确定灵敏度最大的方案。通过比较得出，悬臂式的湿度传感器，灵敏度与悬臂梁的长度变化关系不大，而宽度确实一个重要的参数。最后文中还给出制作悬臂式的湿度传感器所采用的加工工艺过程。