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本文介绍了一种新型数字式红外线高精度位移测量仪的测量原理、电路设计和标定方法.用精度为0.1 μm的高精度螺旋测微器对其校准，这种仪器的位移测量的精度可以达到3×10-7m，动态范围是2.0000(mm)，具有广泛的应用前景.
数字式红外线高精度位移测量仪
【摘 要】
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本文介绍了一种新型数字式红外线高精度位移测量仪的测量原理、电路设计和标定方法.用精度为0.1 μm的高精度螺旋测微器对其校准，这种仪器的位移测量的精度可以达到3×10-7m，动
【机 构】
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中国地质大学数学与物理系，湖北武汉430074
【出 处】
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第三届全国高等学校物理实验教学研讨会
【发表日期】
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2004年8期
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