【摘 要】
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微小型便携质谱仪因体积小、重量轻、价格低廉、操作维护简单、可实时在线分析的优势成为质谱仪器的一个重要发展方向.MEMS技术作为一种微加工技术,以微型化低能耗的技术优势著称.质谱仪器和MEMS技术的结合有着非常广阔的发展前景.一直以来,针对MEMS质谱仪的研究主要集中在部件的微型化,关键部件如离子源(主要为ESI源)、质量分析器(主要为离子阱)、离子检测器(主要为法拉第筒)等均已出现众多成功的微型化
【出 处】
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第34届(2016)中国质谱学会学术年会
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微小型便携质谱仪因体积小、重量轻、价格低廉、操作维护简单、可实时在线分析的优势成为质谱仪器的一个重要发展方向.MEMS技术作为一种微加工技术,以微型化低能耗的技术优势著称.质谱仪器和MEMS技术的结合有着非常广阔的发展前景.一直以来,针对MEMS质谱仪的研究主要集中在部件的微型化,关键部件如离子源(主要为ESI源)、质量分析器(主要为离子阱)、离子检测器(主要为法拉第筒)等均已出现众多成功的微型化实例,其中一些部件如ESI电离源已经有芯片化实例.近年来MEMS关键部件的整机集成也在高速发展,离子阱质谱仪、飞行时间质谱仪、双聚焦磁质谱仪、三重四级杆质谱仪等均已出现完整的MEMS仪器.其中,PIMMS质谱仪只有火柴盒大小,可分析一些分子量较小的气体(Ar,N2)；离子阱质谱仪M908已经商业化,可用于检测爆炸物等；而三重四级杆质谱仪对苹果上的残留驱虫剂"涕必灵"检测限达到10ng/g.MEMS质谱经历了"整机化整到零,部件化零为整"的长足发展,今后必将大放异彩.
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