【摘 要】
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半导体集成电路新产品的研发中常常依靠多次实验来优化相关器件的性能及其可靠性.实验的影响因素多，成本高而且周期长，相应的可靠性数据复杂而且变异性大.本文采用高效率的
【机 构】
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
【出 处】
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2012试验设计及其应用研讨会暨中国数学会均匀设计分会第十一届学术年会
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半导体集成电路新产品的研发中常常依靠多次实验来优化相关器件的性能及其可靠性.实验的影响因素多，成本高而且周期长，相应的可靠性数据复杂而且变异性大.本文采用高效率的超饱和响应曲面均匀设计法，使用均匀设计学会的均匀设计软件(5.0版)来设计实验.由于对业界常规的单一特定寿命指标的建模误差很大，本文对收集到的含有早期失效、非单一模式的可靠性数据进行深入分析，决定从可靠性机理出发将将本征失效与早期失效分开，因而将常规的单一特定寿命指标修改为反映本征模式的本征寿命指标并新增加反映早期失效的一个比例指标，从而全面反映可靠性数据.这两个指标一起用作可靠性的响应对实验数据进行分析与建模.本文借助于JMP统计软件用逐步回归法对修改的特定寿命的对数与新增的比例指标进行变量筛选，之后又使用广义线性模型对比例指标重新进行建模与精准的预告，并结合本征寿命的对数的建模一起作联合优化.实验与优化预告帮助找到了比过去使用传统试错法得到的最佳结果还要优良许多的新的条件，同时节省了很高的成本而起大大缩短了实验周期.
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