【摘 要】
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<正>快焦比光学元件因其屈光能力强、传递信息容量大,在DUV/EUV投影光刻光学系统、红外成像制导与观瞄光学系统、超视距短焦投影光学系统中具有广泛应用,但快焦比光学元件波
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院;
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<正>快焦比光学元件因其屈光能力强、传递信息容量大,在DUV/EUV投影光刻光学系统、红外成像制导与观瞄光学系统、超视距短焦投影光学系统中具有广泛应用,但快焦比光学元件波像差的高精度干涉检测对干涉仪光学系统的设计、具备的标准器具、移相方式与校正等方面,提出了更高的要求,存在一些特有的理论与技术问题,需要被深入研究。南京理工大学在前期大口径移相干涉检测、高精度球波面干涉检测系统、长波红外干涉测量系统、基于CGH的非球面干涉测量技术积累的基础上,针对国家02专项、红外成像光学、超视距短焦光学对快焦比光学元件检测的急需,关
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