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文章研究了溅射条件对Ｎｉ薄膜热敏电阻特性的影响。指出溅射电压，溅射气压，溅射中的加热条件，溅射中的直流偏压以及溅射条件对Ｎｉ薄膜特性的影响，从而找出最佳溅射条件。
溅射条件对Ni薄膜热敏电阻的影响
【摘 要】
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文章研究了溅射条件对Ｎｉ薄膜热敏电阻特性的影响。指出溅射电压，溅射气压，溅射中的加热条件，溅射中的直流偏压以及溅射条件对Ｎｉ薄膜特性的影响，从而找出最佳溅射条件。
【机 构】
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工业大学
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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