论文部分内容阅读
在LiNbO3单晶上制备出中心频率920 MHz，3 dB带宽小于20MHz，插损11.8 dB的纵向耦合谐振器型滤波器。采用纳米划痕技术对作为叉指电极的磁控溅射铝膜在划痕测试中的弹性与塑性变形，与基体结合强度进行实验测定。结果显示：在划痕实验中存在3种形变；塑性或永久形变，接触区附近表面弹性偏移和划痕凹槽的弹性恢复。涂层与基体结合较好，划痕临界载荷平均值是26 mN。