【摘 要】
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文章介绍几种常用高灵敏度微压力传感器结构及应用领域.石墨烯是目前已发现最薄的物质,具有惊人的机械强度和良好的弹性延展率,适用于超高灵敏度微压力测量.文章综述了石墨烯
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 北京100191
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
文章介绍几种常用高灵敏度微压力传感器结构及应用领域.石墨烯是目前已发现最薄的物质,具有惊人的机械强度和良好的弹性延展率,适用于超高灵敏度微压力测量.文章综述了石墨烯压力传感器的研究进展,分析了石墨烯膜压力传感器的线性工作范围.由于石墨烯膜内部强初应力的存在,石墨烯膜的中心位移与所受压力在一定范围内是线性的,线性范围与初应力的大小及石墨烯膜的半径有关.
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