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φ3″＜100＞区熔硅单晶的研制
【机 构】
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洛阳单晶硅厂
【出 处】
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中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
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1990年期
其他文献
该文分析了研究了亲水键合法存在的问题，发明了硅／锗／硅合新方法。试验研究了新方法的机理、键合工艺技术和键合强度，键合率以及与亲水键合方法的对比。