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理论分析了声表面波(SAW)对沉积在压电基片表面的黏弹薄膜的响应特性，建立了研究SAW传播特性的数值仿真模型。采用有限元方法数值分析了黏弹薄膜的质量负载和黏弹性对SAW传播特性所产生的影响，发现SAW信号的振幅衰减及中心频率漂移，随黏弹薄膜的质量负载和黏弹性的改变而发生敏感且单调的变化。
黏弹薄膜对声表面波传播特性影响的数值研究
【摘 要】
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理论分析了声表面波(SAW)对沉积在压电基片表面的黏弹薄膜的响应特性，建立了研究SAW传播特性的数值仿真模型。采用有限元方法数值分析了黏弹薄膜的质量负载和黏弹性对SAW
【机 构】
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后勤工程学院基础部,重庆 401331
【出 处】
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中国声学学会第十一届青年学术会议
【发表日期】
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2015年期
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