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本文介绍内部水汽含量分析在DPA工作中的重要作用,以及目前国内水汽含量的现状和存在的普遍问题,与封装工艺的相关性,进行工艺改进的措施.
内部气氛分析在DPA工作中的重要作用
【摘 要】
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本文介绍内部水汽含量分析在DPA工作中的重要作用,以及目前国内水汽含量的现状和存在的普遍问题,与封装工艺的相关性,进行工艺改进的措施.
【机 构】
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总装备部电子信息基础部军用电子元器件DPA实验室(五所)
【出 处】
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第九届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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2001年9期
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