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本文利用热丝化学气相沉积法在硅衬底上生长金刚石薄膜，在生长过程中对其工艺条件进行了很好的控制。利用拉曼光谱、扫描电镜、傅立叶变换红外分光光度计对薄膜进行了测试，经研究发现，在所选定的条件下，生长的金刚石膜透射率较高。
CVD金刚石膜的光学特性研究及其应用
【摘 要】
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本文利用热丝化学气相沉积法在硅衬底上生长金刚石薄膜，在生长过程中对其工艺条件进行了很好的控制。利用拉曼光谱、扫描电镜、傅立叶变换红外分光光度计对薄膜进行了测试，经研
【机 构】
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天津理工大学光电信息与电子信息科学系
【出 处】
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第五届全国光子学大会
【发表日期】
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2004年期
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