【摘 要】
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薄膜层状结构在微电子和光电子技术中极为重要，而薄膜在制备和使用过程中的内应力往往会影响薄膜结构的稳定性，形态进而影响器件的性能和寿命。作者新发展的连续统相场模型
【出 处】
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第五届全国固体力学青年学者学术研讨会
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薄膜层状结构在微电子和光电子技术中极为重要，而薄膜在制备和使用过程中的内应力往往会影响薄膜结构的稳定性，形态进而影响器件的性能和寿命。作者新发展的连续统相场模型可以系统讨论压应力水平、界面强度和薄膜衬底模量比影响的受压薄膜衬底系统中的非线性屈曲和界面脱层断裂耦合的现象。模拟结果揭示了"网络状电话线起泡"屈曲形貌的形成机制：(1)电话线起泡的形成受压应力水平，混合度依赖的界面强度共同影响，(2)压应力和弹性的各向异性决定电话线起泡的取向，(3)高压应力水平驱动的在电话线起泡边缘诱发的二次屈曲失稳决定电话线起泡的分岔生长并最终形成网络结构。
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