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蓝宝石晶体生长的热场设计和晶体缺陷

来源 :中国电子材料行业协会半导体材料分会第四届蓝宝石、新型化合物半导体材料和人工晶体产业发展研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bingdongfenxing

【作 者】

：

徐军 唐慧丽 罗平 钱小波 吴锋 

【机 构】

：

同济大学物理科学与工程学院、高等研究院中国科学院上海硅酸盐研究所

【出 处】

：

中国电子材料行业协会半导体材料分会第四届蓝宝石、新型化合物半导体材料和人工晶体产业发展研讨会

【发表日期】

：

2015年6期

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