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该文用原子力显微镜(AFM)对有不同伏安特性的台阶边缘结之台阶形貌进行了仔细测量。结果表明：台阶边缘晶界结特性受非平面衬底离子束刻蚀剖面细节的影响。文中对刻蚀剖面形貌的细节对结性能的影响进行了分析，并讨论了台阶结制作工艺重复性 差，成品率低的原因。
HTS台阶边缘结-特性和制作的实验研究
【摘 要】
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该文用原子力显微镜(AFM)对有不同伏安特性的台阶边缘结之台阶形貌进行了仔细测量。结果表明：台阶边缘晶界结特性受非平面衬底离子束刻蚀剖面细节的影响。文中对刻蚀剖面形貌
【机 构】
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科学院物理研究所、超导国家重点实验室
【出 处】
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第四届全国超导薄膜和超导电子学器件学术会议
【发表日期】
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1998年期
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