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纳米Si薄膜由大量的超微Si晶粒和大量的晶粒间界面区组成。这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应。该文讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用，认为纳米Si薄膜材料是一种优秀的传感器材料。
纳米Si薄膜的压阻特性研究
【摘 要】
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纳米Si薄膜由大量的超微Si晶粒和大量的晶粒间界面区组成。这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应。该文讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用，认为纳米Si薄膜材料是
【机 构】
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北京理工大学电子工程系
【出 处】
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第一届全国纳米技术与应用学术会议
【发表日期】
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2000年期
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