【摘 要】
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光致介电泳(ODEP)通过采用将带有形状的光照射在由光导材料组成的ODEP芯片上，在外加交流电场的前提下产生非均匀电场，使得位于悬浮液中的操作对象被极化从而受到介电泳力的
【机 构】
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中国科学院 沈阳自动化研究所 机器人学国家重点实验室,沈阳110016
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
论文部分内容阅读
光致介电泳(ODEP)通过采用将带有形状的光照射在由光导材料组成的ODEP芯片上，在外加交流电场的前提下产生非均匀电场，使得位于悬浮液中的操作对象被极化从而受到介电泳力的作用。由于ODEP技术使用虚拟光电极来产生电场，解决了传统DEP技术中金属电极制作过程繁琐、可重构性差的缺点，在进行并行操作上具有很强的灵活性，可以有效操作细胞、DNA分子、CNT以及微纳米粒子。本文首先给出了ODEP操作方法的基本理论模型，研究了基于氢化非晶硅的ODEP芯片制备工艺过程，并建立了实验系统。
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