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结合微陀螺的设计,提出了一种新的"Top-down"集成设计方法,并研究了从MEMS器件的三维实体模型自动生成二维版图文件的关键技术,从而实现"Top-down"集成设计过程.
一种基于特征传递的MEMS“Top-down”集成设计方法
【摘 要】
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结合微陀螺的设计,提出了一种新的"Top-down"集成设计方法,并研究了从MEMS器件的三维实体模型自动生成二维版图文件的关键技术,从而实现"Top-down"集成设计过程.
【机 构】
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西北工业大学,飞行器制造工程系,微/纳米系统实验室(西安)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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