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该文讨论了多晶硅薄膜在微机械光开关中的应用，对两种结构的多晶硅薄膜微镜结构进行了分析。最后，提出了一种通过微机械表面硅和体硅混合工艺实现的新型微机械光开关，该开关的硅梁和微镜是由多晶硅薄膜形成的。支撑微镜的硅梁是弹性元件，避免了运动部件间及与其它部分的摩擦和磨损，大大提高了光开关的使用寿命。
多晶硅薄膜在微机械光开关中的应用
【摘 要】
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该文讨论了多晶硅薄膜在微机械光开关中的应用，对两种结构的多晶硅薄膜微镜结构进行了分析。最后，提出了一种通过微机械表面硅和体硅混合工艺实现的新型微机械光开关，该开关的硅
【机 构】
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微米/纳米加工国家重点实验室,北京大学微电子所(北京)
【出 处】
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第七届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2000年10期
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