论文部分内容阅读
@@微电子器件已经越来越广泛地应用于国民、国防电子产品之中。尽管混合电路的数量近年都以10％比例高速增长，但数字电路仍是我们使用的主要电路。所以为了确保电子产品的可靠性，无论是混合电路还是数字电路，微电子器件必须在使用前检测，并为了确保检测结果的准确性和量值一致性，还必须对微电子器件的校准技术和量值传递系统进行研究。本文重点讨论了如何对微电子器件进行计量的技术方向，可供有关人员参考。