X光电子谱(XPS)在金属清洗效果检测中的应用

• 作 者: 刘建强 李玉香 刘万里
• 机 构: 大学光电材料与器件研究所
• 出 处: 中国电子学会生产技术学分会理化分析专业委员会第六届年会
• 发表日期: 1999年期
• 关键词: 光电子谱 精密金属零件 清洗剂 效果检测 三氯乙烷 光电材料与器件 电子枪零件 清洗效果 零件清洗 零件工艺 测试结果 表面分析 阳极帽 运用 山东 大学

该文运用Ｘ光电子谱（ＸＰＳ）手段，分别对使用山东大学光电材料与器件研究所研制的精密金属零件清洗济ＪＭ－１和传统清洗剂三氯乙烷（ＴＣＡ）清洗过的精密金属零件阳极帽和电子枪零件进行表面分析，比较测试结果，发现清洗剂ＪＭ－１比三氯乙烷（ＴＣＡ）的清洗效果要好，清洗剂ＪＭ－１可以替代传统的三氯乙烷（ＴＣＡ）清洗精密金属零件工艺。