【摘 要】
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利用物理气相沉积设备制备了Al/ZnO∶Al薄膜结构，研究了该结构的发光特性。结果表明，在ZnO：Al薄膜表面镀一层Al岛薄膜可以增强其带边荧光，同时在475 nm附近产生蓝光峰。通过
【机 构】
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浙江工业大学之江学院理学系,杭州 310024
【出 处】
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第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
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利用物理气相沉积设备制备了Al/ZnO∶Al薄膜结构，研究了该结构的发光特性。结果表明，在ZnO：Al薄膜表面镀一层Al岛薄膜可以增强其带边荧光，同时在475 nm附近产生蓝光峰。通过在Al岛薄膜和ZnO∶Al薄膜之间引入一层5nm的Ta205绝缘层可以使ZnO∶Al薄膜的带边荧光和蓝光显著增强，并随着Ta2.05绝缘层厚度的增大而减弱。而且，通过对Al/ZnO：Al样品进行退火处理可以使蓝光峰增强83倍。基于局域表面等离子体共振理论，计算了Al/ZnO∶Al纳米结构的光学散射和吸收截面曲线。计算结果较好地解释了实验观察到的荧光增强现象。
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