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直流反应磁控溅射方法制备硅掺杂纳米TiO2薄膜及其光电性能
【机 构】
:
复旦大学材料科学系,上海,200433
【出 处】
:
第十六届全国电化学会议
【发表日期】
:
2011年8期
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