MOCVD法生长的InGaN薄膜表面缺陷与光学性质相互关系研究

来源 :第13届全国MOCVD学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：usaend

【摘要】

：

【作者】

：

陶涛陈鹏修向前赵红施毅韩平郑有炓智婷刘斌张荣谢自力庄喆李毅张国刚柴旭朝

【机构】

：

南京大学电子学院,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京210093 南京大学物理学院,南京大学固

【出处】

：

第13届全国MOCVD学术会议

【发表日期】

：

2014年2期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

　　本文研究了采用MOCVD方法在GaN衬底上生长的InGaN薄膜材料结构和光学性质之间的相互关系.采用热场发射扫描电子显微镜(SEM)对样品的表面形貌进行了表征.InGaN材料表现出了典型的V型缺陷和沟壑.如图1所示,阴极荧光谱(CL)探测出了InGaN薄膜不同区域上出现了410纳米和460纳米的发光峰位.同时,CL mapping图进一步验证了以上两种缺陷与薄膜材料表面形貌有着密切的联系.通过对图2中各种区域的一一对应可以发现薄膜表面形貌与发光性质紧密相关.缺陷周围,缺陷密集处和缺陷稀疏处发光有很大差异.采用透射电子显微镜(TEM)对InGaN薄膜进行表征并结合电子散射能谱(EDX),我们得到了薄膜样品在Ⅴ型缺陷周围形成高铟组分的有力证据.

其他文献

Study On The Electric Properties Of Carbon Fibers And Its Application For The Preparation Of Carbon/

Acetylene (C2H2) was used as carbon source gas, nitrogen (N2) as dilution gas.The electric properties of carbon fibers was briefly discussed by energizing the carbon fibers in vacuum condition which w

会议

Electric propertiesPyrolytic carbonsLayered structureSpherical microcrystalli

Mild and Low-Cost Synthetic Process for Monodispersive Platinum Nanoparitcles on Carbon Aerogel

A mild synthetic process using formic acid as the reduction agent was applied to prepare 40 wt% Pt/carbon aerogel (CA) electrocatalyst.The as-prepared sample was characterized by transmission electron

会议

Carbon aerogelPEM fuel cellsCatalystPlatinum nanoparticles

Thermodynamic Analysis of Chemical Vapor Deposition of the VN Coating

The VN coatings were coated by chemical vapor deposition on T12 substrate using V2O5, H2 and N2 as reactants.Thermodynamic calculation and analysis of formation reaction of VN were done by thermodynam

会议

Chemical vapor deposition(CVD)ThermodynamicsVN coatingDeposition temperature

Improved Low Temperature Solution Synthesis of Silicon Nanoparticles for Lithium-ion Batteries

Silicon nanoparticles have extraordinary electrochemical performance for lithium-ion batteries.This paper gives animproved low temperature solution synthesis route of Si NPs.

会议

NanoparticlesSolution SynthesisAmorphous MaterialsLithium-ion Batteries

Ultrasonic Welding of Fe78Si9B13 Metallic Glass

The solid bonds of multi-layer Fe78Si9B13 metallic glass foils have successfully been produced by ultrasonic weldingtechnology.

会议

Ultrasonic weldingFe78Si9B13 metallic glassSuperplasticityCrystallization

Preparation and Optical Properties of Tunable Structural Color Films on Visible and NIR Spectrum

The monodisperse colloidal microspheres of silica were fabricated by a modified st?ber method, andtunable structural color films were self-assemblied on the surface of glass slidebyvertical deposition

会议

Photonic crystalStructural colorSilica microsphereDifferential centrifugation

片状自组装NH4V3O8材料的制备及其储锂性能

采用微波辐射处理酸性的偏钒酸铵溶液，在无模板剂作用的条件下成功制备了片状自组装的NH4V3O8材料，并将其用作锂离子电池正极材料。利用X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、伏安循环曲线(CV)和恒流充放电测试分别对产物的相组成、微观结构和电化学性能进行表征，研究了反应温度对产物的物相、形貌及电化学性能的影响。

会议

钒酸铵反应温度电化学性能锂离子电池

脉冲频率对莫来石涂层的影响及沉积活化能

以莫来石粉体(3Al2O.2SiO2)为原料，采用脉冲电弧放电沉积法，在SiC-C/C试样表面制备了莫来石外涂层.利用X射线衍射、扫描电子显微镜对涂层的物相组成、显微结构进行表征.

会议

C/C复合材料莫来石脉冲频率沉积动力学

微波水热法制备Co2(OH)3Cl微粉体及其气敏性研究

本文以醋酸钴、三氯化钛为原料，采用微波水热法制备出Co2(OH)3Cl微粉体。用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)表征产物的物相组成和表观形貌，系统研究不同微波水热温度、反应时间对粉体制备的影响。

会议

Co2(OH)3Cl微波水热法气敏特性

SiC衬底上N极性GaN薄膜的MOCVD外延生长研究

在C面6H-SiC衬底上进行了MOCVD外延N极性GaN薄膜的生长实验.外延GaN之前先生长一层50nm厚高温AlN缓冲层用于缓解GaN薄膜和SiC衬底之间的失配应力,继续生长2μm GaN外延材料.实验表明,C面SiC衬底上可以生长出结晶质量和表面形貌较好的N极性GaN薄膜.

会议

MOCVD法生长的InGaN薄膜表面缺陷与光学性质相互关系研究

其他学术论文