【摘 要】
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硬質薄膜常被用於提高零部件的摩擦學性能。但在設計和選擇薄膜材料和製備方法時，往往忽視基體材料與薄膜材料的性能匹配。研究表明，硬質薄膜與基體材料性能上的差異會在很大程度上影響薄膜的摩擦學行為。在一些情況下，硬質薄膜會導致基體更容易發生塑性變形而降低膜基系統的整體性能，即所謂的弱化效應。本文介紹弱化效應的基本概念，利用物理氣相沉積方法在不同的基體上製備了硬質薄膜，試驗研究了膜基材料的性能匹配對薄膜摩擦
【机 构】
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清华大学摩擦学国家重点实验室 北京100084
【出 处】
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第十二届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
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硬質薄膜常被用於提高零部件的摩擦學性能。但在設計和選擇薄膜材料和製備方法時，往往忽視基體材料與薄膜材料的性能匹配。研究表明，硬質薄膜與基體材料性能上的差異會在很大程度上影響薄膜的摩擦學行為。在一些情況下，硬質薄膜會導致基體更容易發生塑性變形而降低膜基系統的整體性能，即所謂的弱化效應。本文介紹弱化效應的基本概念，利用物理氣相沉積方法在不同的基體上製備了硬質薄膜，試驗研究了膜基材料的性能匹配對薄膜摩擦學行為的影響。利用計算機模擬，研究了不同的膜基結構對膜基系統應力的影響規律。在此基礎上，針對膜基系統的設計原則開展了討論。
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