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为了避免器件温升对参数测量造成影响，“脉冲测试法”广泛应用在功率IGBT 模块静态和动态参数测试中.该类设备内部单脉冲高压源脉冲宽度为50 微秒的情况脉冲高压幅度达到7kV 以上，如何对数单脉冲高压源进行校准是一个难题.本文通过研制脉冲高电压分压器，使用数据采集单元搭建脉冲高压参数校准装置，解决了功率IGBT 模块测试设备脉冲高压参数校准难题.通过测量不确定分析和实验验证，综合考虑各测量不确定度分量的影响，在包含因子k 为2 时，脉冲高压参数校准扩展测量不确定度为1.4％.