论文部分内容阅读
可靠性问题已成为MEMS器件与产品工程化的瓶颈问题，微悬臂梁是MEMS的重要构件，其对MEMS可靠性的影响尤为重要。本文基于准静态理论研究了冲击载荷下微倾斜悬臂梁的响应特性，将微倾斜悬臂粱等效为微悬臂梁-质量块系统，据此分析了微悬臂梁最大应力与最大位移特性；在此基础上，应用ANSYS软件验证了理论分析的正确性。研究结论可用于指导微倾斜悬臂梁失效模式分析，为MEMS可靠性设计提供依据。