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为了研制一种适用于真空微电子平板摄像管（VME-FPC）的高灵敏度的CdSe多层光导靶材，改建了一台兼有氧化与再结晶双重功能的炉子，发展了新的由真空预热处理（VHPT）与非真空热后处理（NHAT）二种工艺组成的热处理工艺，采用以上多项[1]措施的结果，作出了一种高性能的多层CdSe光电导靶，该新型多层CdSe光电导靶在维持原分辨率指标的前提下，灵敏度指标提高了二个数量级。本文主要阐述采用非真空热后处理工艺后获得的成功及相关的实验结果。