超硬无氢非晶金刚石膜的某些特性及其工程应用

来源 :首届国际(西安)涂料、涂装、表面工程高层论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ZHANGLIAO2009
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采用过滤阴极真空电弧离子镀膜技术在不同基材上沉积无氢非晶金刚石膜,并对镀膜试样进行纳米压入硬度,弹性模量,膜/基结合力,摩擦系数,耐磨性,耐蚀性,耐候性,透光性和生物相容性试验。结果表明,这种无氢非晶金刚石膜的硬度HV高达74.8~84.0GPa,杨氏弹性模量E高达750.8~829.7GPa,摩擦系数μ为0.092~0.105,并有良好的膜,基结合力,高耐磨性,高耐蚀性,良好的耐候性,高的透光率和优良的生物相容性。文中还系统介绍了非晶金刚石膜的应用领域和某些应用案例。
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