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从聚晶金刚石(PCD)的物理性质出发,分析了其微细电火花加工的性能。通过聚晶金刚石(PCD)微细电火花加工工艺试验,研究了加工极性、电极转速、电源标称电容对加工速度和电极损耗的影响,对试验结果进行分析并优化工艺参数,采用负极性加工方法,及电压为106V,标称电容为11000pF的脉冲电源,在电极转速为7000r/min的条件下,在厚为650 μm聚晶金刚石薄片上,加工出直径约为100 μm的微细通孔。