4~15um宽光谱分光膜的设计

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本文主要介绍了4~15um宽光谱分光膜的设计制备和一些初步试验结果。干涉式红外成像光谱仪(简称干涉仪)是新一代气象卫星的主要有效载荷之一。红外分束器是干涉仪中的一个关键元件。它要在表面上沉积4~15um宽光谱红外分光膜,分光比(R:T)要求接近0.5: 0.5,误差为±10%。由于红外辐射能量很小,要求分束器具有较高的光学效率,较小的吸收和二次反射。基片材料为ZnSe光学晶体,工作波段有很好的透明度。工作时入射角为30°。
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