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激光刻划碲化镉薄膜研究
激光刻划碲化镉薄膜研究
来源 :第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luckcarrier
【摘 要】
:
研究声光调Q 的Nd:YAG激光对碲化镉薄膜的刻划过程,得出了刻槽形貌随脉冲重复频率、灯电流大小和刻划速率变化的规律。
【作 者】
:
岳磊
蔡伟
张静全
蔡亚平
郑家贵
冯良桓
覃文治
李杨华
【机 构】
:
四川大学材料科学与工程学院,成都,610064
【出 处】
:
第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
激光刻划
脉冲重复频率
碲化镉薄膜
速率变化
声光调
激光对
灯电流
规律
槽形
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研究声光调Q 的Nd:YAG激光对碲化镉薄膜的刻划过程,得出了刻槽形貌随脉冲重复频率、灯电流大小和刻划速率变化的规律。
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