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溅射功率对磁控溅射制备V02薄膜的结构与性能的影响
【机 构】
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四川大学 材料科学与工程学院,四川 成都 610065
【出 处】
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第七届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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2010年5期
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