【摘 要】
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梳齿电容式微机械陀螺是一种以微机械加工工艺制造的典型微惯性传感器，在军民领域里都有广阔的应用前景。梳齿电容式微机械陀螺采用静电梳状结构驱动和电容检测的典型工作
【机 构】
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北京理工大学 爆炸科学与技术国家重点实验室,北京100081
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
论文部分内容阅读
梳齿电容式微机械陀螺是一种以微机械加工工艺制造的典型微惯性传感器，在军民领域里都有广阔的应用前景。梳齿电容式微机械陀螺采用静电梳状结构驱动和电容检测的典型工作方式。静电梳状驱动不受电容间隙限制，可以获得较大的驱动振幅，且驱动力与位移无关，品质因子较高，信号处理电路易于实现。在梳齿式微机械陀螺中，哥氏力被转换为极板间的电容变化并通过读出电路输出。从微机械陀螺的原理可以看出，微机械陀螺的驱动和检测部分均可以近似看作一个弹簧一质量块的二阶振动系统。在这个系统中，微弹性支撑梁的变形能力将直接影响微机械陀螺的驱动和检测性能。
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