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ＢＥＰＣ同步辐射软Ｘ射线光刻光束线的总体设计特性
【机 构】
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科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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同步辐射光束线工程束线光学与新技术研讨会
【发表日期】
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1995年期
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