• 不 限
  • 期刊论文
  • 硕博论文
  • 会议论文
  • 报 纸
  • 英文论文
  2. 您的位置
  3. 首页
  4. 会议论文
  5. 湿法去除N型CZ硅硼扩散过程形成的富硼层

湿法去除N型CZ硅硼扩散过程形成的富硼层

来源 :第九届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wzjjp
【摘 要】
：
硼扩散被应用于N型硅基的PN结制结工艺,然而硼扩散过程中会在硅片表面形成难以避免的富硼层,该层由于富集无活性硼原子会严重影响电池性能.本文采用HF-HNO3体系化学腐蚀的方法来除去富硼层,去除富硼层后的硅片少子寿命从14.7μs增加到34.4μs,得到了很大的提高,方块电阻的均匀性也表现良好,虽然反射率有细微增加,但是依然认为该方法可以成功应用到富硼层的去除中.
【作 者】
：
龙腾江 沈辉 沈磊 
【机 构】
：
中山大学太阳能系统研究所,广东省光伏技术重点实验室,广州510006
【出 处】
：
第九届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
【发表日期】
：
2013年6期
【关键词】
：
晶体硅 制备工艺 富硼层 湿法化学腐蚀技术 产品质量 
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文 赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
硼扩散被应用于N型硅基的PN结制结工艺,然而硼扩散过程中会在硅片表面形成难以避免的富硼层,该层由于富集无活性硼原子会严重影响电池性能.本文采用HF-HNO3体系化学腐蚀的方法来除去富硼层,去除富硼层后的硅片少子寿命从14.7μs增加到34.4μs,得到了很大的提高,方块电阻的均匀性也表现良好,虽然反射率有细微增加,但是依然认为该方法可以成功应用到富硼层的去除中.
其他文献
闪存页面置换算法综述
闪存已经成为计算机和消费电子设备最重要的存储设备之一.传统的页面置换算法是为提高传统硬盘的性能而定制的,传统硬盘的读写操作成本是相同的,而且可以被重写.但是闪存的读写操作成本是不同的而且支持异地更新机制.所以传统的页面置换算法不能直接应用到闪存上.为了提高闪存的性能,一些针对闪存特性的页面置换算法已被提出.本文回顾现有的针对闪存优化的页面置换算法以及展望未来在闪存页面置换算法的研究计划.
会议
闪存页面置换算法异地更新机制存储性能
闪存感知的Linux交换系统的细粒度页面置换算法
本文提出了一种用于闪存感知的Linux交换系统的细粒度页面置换算法.该算法不仅引入了一种有效的牺牲页选择机制,该牺牲页选择机制通过延迟冷脏页的置换来减少写操作数,并通过优先置换冷页和考虑冷页的访问频率来提高页面命中率,而且还设计了一种细粒度的脏页更新机制.该更新机制通过只写回脏闪存页来进一步减少写操作数.通过模拟实验得出:提出的页面置换算法在页面命中率和写操作数两个方面优于其他页面置换算法.
会议
Linux交换系统闪存感知细粒度页面置换算法模拟实验
Clustering-based VM Template Caching Scheme in an IaaS System
Nowadays main infrastructure-as-a-service (IaaS) systems have been widely exploiting the template-based VM creation and template caching techniques to reduce the startup latency of user VM and servic
会议
VM image templateClusteringCachingAverage startup latencyIaaS
基于DFA的云计算SLA参数分析
云计算中,为了满足对用户的QoS保证,服务提供商与用户制定了服务等级协议(Service Level Agreement,SLA).SLA通过监控工具对各项参数进行违例检测,确保可靠的QoS.由于用户的需求是动态变化的,SLA性能参数表现为随机振荡的时间序列.通过运用非倾向性振荡分析(Detrended Fluctuation Analysis,DFA)分析SLA性能参数的自相似性,以判定其振荡
会议
云计算非倾向性振荡分析服务等级协议性能参数
基于SDO的异构数据访问技术及应用的研究
随着信息时代的到来,从异构数据库检索信息变得越来越重要;而访问异构数据库的处理方案各不相同,其中包括多种不同的数据模型、不同的查询语言以及各种各样的访问接口,这给访问数据带来了很大的不便.本研究的目的是使用服务数据对象(Service Data Objects)技术,基于应用代理机制访问商用数据库背景设计一个统一的数据库访问控制系统(UACS).为了实现统一的数据访问控制,应用程序必须通过统一访问
会议
统一访问控制系统服务数据对象异构数据访问技术通信协议
An epidemic model of computer viruses with vaccination and generalized nonlinear incidence rate
By incorporating the vaccination policy in the SIRS model with generalized nonlinear incidence rate,a novel epidemic model of computer viruses is established.A thorough analysis of this model shows th
会议
computer virusepidemic modelvaccinationnonlinear incidence rateequilibriumg
A fast Pessimistic Diagnosis Algorithm for Folded Hypercube Interconnection multiprocessor systems
This paper describes an efficient system-level diagnosis algorithm for folded hypercube network (FHC),which not only possesses lower diameter and better connectivity as compared with a hypercube-like
会议
system-level diagnosisfolded hypercubediagnosabilitydiagnosis algorithm
The g-good-neighbor conditional diagnosability of hypermesh optical interconnection networks under t
The g-good-neighbor conditional diagnosability is a novel measure of diagnosability by restricting that every fault-free node has at least g fault-free neighbors in a system.Under the PMC model,this p
会议
PMC modelg-good-neighbor conditional diagnosabilityhypermesh optical networkm
Strong diagnosability and conditional diagnosability of optical multi-mesh hypercube networks under
The strong diagnosability and conditional diagnosability are both novel concepts for measuring the reliability and fault tolerance of multicomputers.The optical multi-mesh hypercube (OMMH) networks,wh
会议
Strong diagnosabilityconditional diagnosabilityPMC modeloptical multi-mesh hy
Analysis of a computer virus propagation model with impulsive effect
In this paper,a mathematical model for dynamics of a computer virus spread model concerning impulsive control strategy is proposed and analyzed.We prove that there exists a globally attractive infecti
会议
Computer virus propagationImpulsive differential equationsGlobal attractivity