【摘 要】
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铁电薄膜具有良好的热释电性、压电性、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有着广泛的应用前景,是目前国际上新型功能材料研究的热点之一.本文综述了近年来铁电薄膜及其制备技术研究进展,对比了铁电薄膜的主要制备技术的优缺点,指出了目前亟待解决的一些问题。
【机 构】
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昆明物理研究所,云南,昆明,650223
【出 处】
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第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光电子技术交流会
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铁电薄膜具有良好的热释电性、压电性、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有着广泛的应用前景,是目前国际上新型功能材料研究的热点之一.本文综述了近年来铁电薄膜及其制备技术研究进展,对比了铁电薄膜的主要制备技术的优缺点,指出了目前亟待解决的一些问题。
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